面板外观检测的难点在于表面近乎镜面:同轴明场下,细划伤与异物的对比度常被BM黑矩阵、走线等规则纹理淹没,而周期纹理本身又会带来与缺陷形状相似的响应。本实验室近期把成像与判定拆成两条相对独立的链路推进。
成像侧采用同轴明场与低角度暗场分时曝光,同一工位一次走位取两幅图:低角度通道对宽20μm以下微划伤、边缘崩缺的灰度差提升约3倍,明场通道保留异物与色差信息;Mura一类低对比度不均改用条纹反射采集斜率图,不与灰度阈值耦合。判定侧先用参考图配准差分剔除BM、走线与ITO纹理,再由轻量分割头输出缺陷掩膜、面积与对比度特征,按“尺寸—对比度”联合阈值分为A/B/C三级,C级转人工复判以压过杀。
在模组段试产线的一轮验证中,单片误检点由约8处降至2.5处,抽检样本内微划伤漏检为0,单工位节拍保持在1.2s以内,未额外增加产线节奏。
下一步计划:接入偏振通道复判,尝试区分表面异物与层间内部缺陷;并让小样本增量训练跟随换型流程走,降低新型号冷启动的标定成本。

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