透明镜片表面的微划痕与麻点在明场下几乎不产生灰度差,常规面阵成像信噪比常低于 3 dB,缺陷容易被曲率反光和镀膜干涉纹淹没。本期实验把成像方案作为第一变量:以暗场环形光与同轴光分时曝光,让散射型缺陷呈亮线、吸收型缺陷呈暗斑,再用多角度图像做散射强度归一化,抑制曲率引起的亮度梯度。
进展与数据:
• 在研磨后、镀膜前两道工序各取 300 片样本,暗场通道对 ≥5 μm 划痕的召回为 92.4%,叠加同轴通道后提升至 96.1%,单件误报由 2.3 处降至 0.6 处;
• 缺陷分级改为按散射峰值强度与延展长度二维划分,轻划痕直接放行,无效返修量下降约三成。
下一步计划:把散射特征与砂轮寿命、抛光液批次做关联分析,尝试在缺陷成批出现前给出工艺预警;同时评估线扫成像在曲面区域的一致性,判断能否替代当前的多角度面阵方案。

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